MgF2 supstrat
Opis
MgF2 se koristi kao sočivo, prizma i prozor za talasne dužine od 110nm do 7,5μm.To je najpogodniji materijal kao prozor za ArF Excimer Laser, zbog dobrog prijenosa na 193nm.Takođe je efikasan kao optička polarizacija u ultraljubičastom području.
Svojstva
| Gustina (g/cm).3） | 3.18 |
| Tačka topljenja (℃) | 1255 |
| Toplotna provodljivost | 0,3 Wm-1K-1 na 300K |
| Thermal Expansion | 13,7 x 10-6 /℃ paralelna c-osa 8,9 x 10-6 /℃ okomita c-osa |
| Knoop tvrdoća | 415 sa indenterom od 100g (kg/mm2) |
| Specifični toplotni kapacitet | 1003 J/(kg.k) |
| Dielektrična konstanta | 1,87 na 1MHz paralelnoj c-osi 1,45 na 1MHz okomitoj c-osi |
| Youngs modul (E) | 138,5 GPa |
| Modul smicanja (G) | 54,66 GPa |
| Bulk modul (K) | 101,32 GPa |
| Koeficijent elastičnosti | C11=164;C12=53;C44=33,7 C13=63;C66=96 |
| Prividna granica elastičnosti | 49,6 MPa (7200 psi) |
| Poisson Ratio | 0,276 |
Definicija supstrata MgF2
MgF2 supstrat se odnosi na supstrat napravljen od kristalnog materijala magnezijum fluorida (MgF2).MgF2 je neorgansko jedinjenje sastavljeno od elemenata magnezijuma (Mg) i fluora (F).
MgF2 supstrati imaju nekoliko značajnih svojstava koja ih čine popularnim u raznim primjenama, posebno u području optike i taloženja tankog filma:
1. Visoka transparentnost: MgF2 ima odličnu transparentnost u ultraljubičastom (UV), vidljivom i infracrvenom (IR) području elektromagnetnog spektra.Ima širok raspon prijenosa od ultraljubičastog na oko 115 nm do infracrvenog na oko 7.500 nm.
2. Nizak indeks prelamanja: MgF2 ima relativno nizak indeks prelamanja, što ga čini idealnim materijalom za AR premaze i optiku, jer minimizira neželjene refleksije i poboljšava prijenos svjetlosti.
3. Niska apsorpcija: MgF2 pokazuje nisku apsorpciju u ultraljubičastom i vidljivom spektru.Ovo svojstvo ga čini korisnim u aplikacijama koje zahtijevaju visoku optičku jasnoću, kao što su sočiva, prizme i prozori za ultraljubičaste ili vidljive zrake.
4. Hemijska stabilnost: MgF2 je hemijski stabilan, otporan na širok spektar hemikalija i održava svoja optička i fizička svojstva u širokom spektru uslova okoline.
5. Termička stabilnost: MgF2 ima visoku tačku topljenja i može izdržati visoke radne temperature bez značajne degradacije.
MgF2 supstrati se obično koriste u optičkim premazima, procesima nanošenja tankog filma i optičkim prozorima ili sočivima u različitim uređajima i sistemima.Oni također mogu poslužiti kao puferski slojevi ili šabloni za rast drugih tankih filmova, kao što su poluvodički materijali ili metalni premazi.
Ovi supstrati se obično proizvode pomoću tehnika kao što su taloženje parom ili metode fizičkog transporta pare, gdje se MgF2 materijal taloži na odgovarajući materijal supstrata ili uzgaja kao monokristal.Ovisno o zahtjevima primjene, podloge mogu biti u obliku vafla, ploča ili prilagođenih oblika.
